在半導(dǎo)體、集成電路等微電子工業(yè)中，氣體扮演著不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外，就是通過超高純電子特氣系統(tǒng)參與制程各工序的特種氣體，其中有一個重要的組成部分：電子混合氣體。通俗的講，就是由幾種氣體組成的氣體混合物。電子混合氣定義及應(yīng)用氣體混合物是指又兩種或者兩種以上的純氣體、根據(jù)使用的要求并按一定比例配制而成的混合氣，來滿足使用需求，有二元或者多元混合氣，其品種之多，可達數(shù)千種。電子特種氣體，除可直接通過超高純電子特氣系統(tǒng)管道供氣作為半導(dǎo)體源：如硅源、硼源、磷源和化學(xué)氣相沉積（CVD）源等以外。便是通過特氣系統(tǒng)輸送到混合配比器中生成電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路（L.S.I）、超大規(guī)模集成電路（V.L.S.I）和半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)中，主要用于氣相外延（生成）、化學(xué)氣相淀積、摻雜（雜質(zhì)擴散）、離子注入和潔凈吹掃等工藝中。電子混合氣分類：根據(jù)不同用途又可以將電子混合氣體分為：晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學(xué)氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊接氣、燒結(jié)氣和平衡氣等。以上，便是關(guān)于半導(dǎo)體超高純電子特氣系統(tǒng)中，關(guān)于電子混合氣的定義、分類和應(yīng)用領(lǐng)域的簡單介紹，感謝您的閱讀！