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特氣尾氣處理裝置Local Scrubber 中變頻風機的作用?

2020-12-02 10:37:48    責任編輯: 尾氣處理裝置制造廠商     0

半導體制造生產(chǎn)中會使用到多種特殊氣體,隨之產(chǎn)生的特氣尾氣需先通過尾氣處理裝置Local Scrubber做處理,再接續(xù)至廠務端做第二道處置后排出。這樣是為了避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預期的氣體泄漏,局部聚積或相互反應等意外,以減少廠務端污染物處理上的負荷,達到對半導體業(yè)空氣污染管制及排放的標準,避免對環(huán)境和周邊人員造成危害。



吸附式尾氣處理裝置Local Scrubber幾乎能夠處理所有小流量的氣體(部分PFC氣體除外),同時因其無需明火、不產(chǎn)生廢水、低能耗的性能特點,是特氣尾氣處理的常用裝置。


在吸附式尾氣處理裝置 Local Scrubber 中吸附材以高孔隙率和高密度填充提升入口出口壓差,因此尾氣出口端增加變頻風機可起到以下作用:


1、提升壽命:變頻風機可增加抽氣壓力,以增加藥劑填充數(shù)量,提升使用壽命。

2、穩(wěn)定壓力:變頻風機可根據(jù)設定壓力值或廠務端氣壓自動調(diào)整風機轉(zhuǎn)速,穩(wěn)定設備內(nèi)壓力值和氣體流量,保證處理效率穩(wěn)定。

3、避免回流:制程中若含有易阻塞管道和藥劑的粉塵,PLC會依據(jù)設定壓力,自動調(diào)整風機轉(zhuǎn)速維持入口壓力值,避免廢氣回流,造成系統(tǒng)及設備損害。


以上,就是在半導體制程工藝吸附式特氣尾氣處理裝置 Local Scrubber 中變頻風機的作用,感謝您的閱讀!


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